Aukšto grynumo titano dulkinimo taikiniai

 

 

Aukšto grynumo titano dulkinimo taikiniai yra dulkinimo dangos taikiniai, pagaminti iš aukšto - grynumo titano arba titano lydinių, kurių grynumas yra nuo 99,9% iki 99,9999%.

Jie daugiausia naudojami puslaidininkių gamyboje, plokščių plokščių ekranuose, dekoratyvinėje dangoje ir vakuuminės įrangos siurbimo laukuose.

Pagrindiniai jo veiklos rodikliai yra grynumas, tankis (4,506–4,51 g/cm³), grūdų dydis (mažesnis arba lygus 50 μm) ir priemaišų kontrolė, kuri turi atitikti vidaus ir tarptautinius standartus, tokius kaip ASTM ir ISO.

 

Titano taikiniai yra naudojami integruotose grandinėse, norint nusodinti barjerinius sluoksnius, tokius kaip titanas - silicio junginiai ir titanas - azoto junginiai, kurių grynumas yra 4N5–6N, kad atitiktų 0,18 μm ir daugiau patobulintų procesų reikalavimus.

 

Dekoravimo srityje magnetronų dulkinimas gali būti naudojamas paruošti įvairius spalvų plėvelės sluoksnius, o vakuuminės dangos pasižymi ir dideliu sukibimu, ir atsparumu korozijai.

Be to, titano taikiniai buvo taikomi tokiuose scenarijuose kaip medicininiai implantai ir aviacijos ir kosmoso dangos, nes jie yra lengvi ir biologiškai suderinami.

Produkto specifikacijos apima skersmenis nuo 50 iki 400 mm ir storio nuo 3 iki 28 mm, ir palaiko pritaikytus reikalavimus, tokius kaip surišimo vario galiniai taikiniai ..

 

 

1) grynumas

Tačiau praktiniuose tiksluose tikslinių medžiagų grynumo reikalavimai taip pat skiriasi. Pavyzdžiui, greitą mikroelektronikos pramonės vystymą yra 99,999% ar net 99,9999%.

 

2) priemaišų turinys

Kietosios tikslinės medžiagos ir deguonies bei vandens garų priemaišos porose yra pagrindiniai užteršimo plėvelės užteršimo šaltiniai. Taip pat skiriasi reikalavimai skirtingam tikslinių medžiagų priemaišų turiniui skirtingiems reikmėms. Pavyzdžiui, gryno aliuminio ir aliuminio lydinio taikiniai, naudojami puslaidininkių pramonėje, turi specialius reikalavimus šarmų metalų ir radioaktyviųjų elementų kiekiui.

 

3) tankis

Norint sumažinti kietos tikslinės medžiagos poringumą ir sustiprinti purškiamos plėvelės veikimą, paprastai reikia, kad tikslinė medžiaga būtų palyginti didelis tankis. Tikslinės medžiagos tankis ne tik daro įtaką dulkinimo greičiui, bet ir daro įtaką plėvelės elektrinėms ir optinėms savybėms. Kuo didesnis tikslinės medžiagos tankis, tuo geresnis filmo našumas. Be to, padidinus tikslinės medžiagos tankį ir stiprumą, ji gali geriau atlaikyti šiluminį įtempį dulkinimo proceso metu. Tankis taip pat yra vienas iš pagrindinių tikslinių medžiagų veikimo rodiklių.

 

4) Grūdų dydis ir grūdų dydžio pasiskirstymas

Paprastai tikslinė medžiaga turi polikristalinę struktūrą, o grūdų dydis gali svyruoti nuo mikrometrų iki milimetrų. Tos pačios tikslinės medžiagos tikslo dulkinimo greitis su smulkiais grūdais yra greitesnis nei taikinio su šiurkščiais grūdais. Filmų, nusodinamų taikinio dulkinimo, storio pasiskirstymas, mažesni grūdų dydžio skirtumai (vienodas pasiskirstymas) yra vienodesnis.

 

 

 

A. Titano tikslinių medžiagų riedėjimas ir kalimo procesai

Karštas riedėjimas ir šaltas riedėjimas naudojamas titano medžiagoms apdoroti į reikiamus dydžius ir formas.

Kalimo procesas padidina tikslinės medžiagos mechaninį stiprumą ir vidinį vienodumą, pagerindama medžiagos grūdų struktūrą.

 

B. Paviršiaus poliravimas ir apdorojimas

Paviršiaus poliravimas užtikrina, kad tikslinė medžiaga būtų gera paviršiaus apdaila ir sumažina netolygumą purškimo metu.

Paviršiaus apdorojimas (pvz., Pašalinus oksido skalę ir smulkią šlifavimą) gali pagerinti sklandų dulkinimo dalelių išsiskyrimą, taip pagerinant dangos kokybę.

 

 

1. Tikslinių medžiagų grynumo tikrinimas

Spektrinės analizės prietaisai naudojami priemaišų komponentams (tokiems kaip azotas, deguonis, geležis ir kt.) Aptikti titano tikslinėse medžiagose, kad būtų užtikrinta, jog jų grynumas siekia daugiau nei 99,9%.

 

2. Fizinis parametrų aptikimas

Tankio testas: tikslinės medžiagos tankis matuojamas vandens poslinkio metodu, kad būtų galima nustatyti, ar viduje yra porų.

Paviršiaus šiurkštumo testas: įvertinkite tikslinės medžiagos paviršiaus lygumą naudodami lazerio interferometrą.

Stiprumo testas: Įsitikinkite, kad tikslinės medžiagos mechaninės savybės atitinka dulkinimo reikalavimus atliekant tempimo bandymus ir kietumo bandymus.

 

 

 

Populiarus Žymos: Didelio grynumo titano dulkinimo taikinių, Kinijos aukšto grynumo titano dulkinimo tikslų gamintojai, tiekėjai, gamykla